二氧化硅（SiO2）靶材
編碼
材料
分子式
純度
（%）
密度
（g/cm3）
形狀與尺寸
交貨期
SOS1001
二氧化硅
SiO2
99.99
2.21
圓片Φ18~30x7~18mm
2 周
SOS1002
圓環Φ200~350x7~18mm
SOS1003
石英板
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